一种刻蚀设备及其防爆方法.pdfVIP

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2023-04-27 发布于北京
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一种刻蚀设备及其防爆方法.pdf

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本发明属于刻蚀技术领域，公开了一种刻蚀设备及其防爆方法。该刻蚀设备包括刻蚀反应箱和储液箱，储液箱通过药液管路与刻蚀反应箱连通并形成循环通路，储液箱内设置有加热器、冷却盘管和多个温度传感器；储液箱的底部设置排液管，排液管上设置阀门，阀门被配置为在达到刻蚀设备预设的生产值或温度传感器报警时使排液管与储液箱连通，排空储液箱内的刻蚀药液。该刻蚀设备，通过药液管路在刻蚀反应箱和储液箱之间形成循环回路，能够提高刻蚀药液的利用率，同时能够有效监控刻蚀药液的温度，在刻蚀药液温度异常或者达到刻蚀设备预设的生产值时

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114171438 A (43)申请公布日 2022.03.11 (21)申请号 202111458981.0 (22)申请日 2021.12.02 (71)申请人苏州晶洲装备科技有限公司