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本申请涉及一种合成宝石用结晶体的制造方法。合成宝石用结晶体的制造方法包括:准备包含n型杂质的SiC单晶体的工序;以及通过向SiC单晶体照射电子射线,在SiC单晶体内生成碳空位的工序,以碳空位的密度大于n型杂质的密度的方式设定照射电子射线的照射能以及照射量。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 114164498 B
(45)授权公告日 2022.05.27
(21)申请号 202111465301.8 (51)Int.Cl.
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