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光学薄膜特性计算第1页/共37页第2页/共37页第一章 薄膜光学特性计算基础第3页/共37页几个条件：工作波段：光学薄膜厚度于考虑的波长在一个数量级薄膜的面积与波长相比可认为无限大薄膜材料各向均匀、同性薄膜材料为非铁磁性材料光穿过膜层而非沿着膜层在膜层内传播第4页/共37页§1.1 单色平面电磁波一. 麦克斯韦方程二. 麦克斯韦方程边界条件物质方程第5页/共37页不导电的均匀介质，可得电磁波在介质中的波动方程导电的均匀介质，第6页/共37页三. 光波与介质的光学导纳光波的电场和磁场强度可以表示为将其代入Maxwell可以得到H与E之间的关系式第7页/共37页自由空间导纳在国际单位中其值为1/377西门子，若以自由空间导纳为单位，光学导纳在光学波段，光学导纳今后后在数值上将用介质的复折射率表示它的光学导纳。第8页/共37页§1.2平面电磁波在单一界面上的反射和折射一. 反射定律和折射定律反射定律折射定律第9页/共37页二. 菲涅尔公式垂直入射结合有故得第10页/共37页振幅透射系数第11页/共37页引进有效导纳，用 和 代替 和斜入射第12页/共37页第13页/共37页第14页/共37页第15页/共37页二. 单层介质薄膜的反射率单一界面的反射和透射系数用有效导纳表示为等效界面：将一个多界面的薄膜系统，等效地看作一个单一界面，其中将等效