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一种钨硅合金靶材的制备方法.pdfVIP

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  • 2023-05-05 发布于四川
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一种钨硅合金靶材的制备方法.pdf

    本发明提供一种钨硅合金靶材的制备方法，包括以下步骤：(1)以硅粉和钨粉为原料，将硅粉真空加热后，水淬处理；(2)将水淬后的硅粉放入球磨罐中进行真空球磨，然后真空干燥；(3)将真空干燥后的硅粉加入到硫酸和盐酸的混合液中超声处理；然后用水清洗，洗后放入干燥箱真空干燥；(4)将硅粉与钨粉进行真空球磨；(5)将钨硅粉末进行真空感应加热处理；(6)将初步合金化的钨硅粉末进行球磨处理；(7)将混合粉末烧结、机加工、去除渗碳层，得到所述钨硅合金靶材。本制备方法提高了钨硅合金靶材的性能，降低了钨硅靶材对于温度和

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114293158 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202111519475.8 (22)申请日 2021.12.13 (71)申请人 先导薄膜材料有限公司

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