一种基于薄膜电容器的气体真空度检测方法及系统.pdfVIP

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2023-05-05 发布于北京
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一种基于薄膜电容器的气体真空度检测方法及系统.pdf

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本发明提供一种基于薄膜电容器的气体真空度检测方法及系统，包括：将预设的激励信号分别输入含有薄膜电容器的检测电路和含有参考电容器的基准电路，在所述激励信号的作用下分别由所述检测电路和基准电路得到输出信号；根据所述检测电路的输出信号以及所述基准电路的输出信号，得到检测信号；对所述检测信号进行解算，得到气体真空度检测值；其中，所述参考电容器为除薄膜电容器外的其他种类的电容器。用以解决现有技术中对中高真空范围的真空度测量方法方案复杂，且真空度不高的缺陷，实现中高真空范围的高真空度的准确检测，且检测方法简

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114279626 A (43)申请公布日 2022.04.05 (21)申请号 202111481431.0 (22)申请日 2021.12.06 (71)申请人北京晨晶精仪电子有限公司