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硅料清洗系统.pdfVIP

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  • 2023-05-05 发布于四川
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硅料清洗系统.pdf

    本发明涉一种硅料清洗系统。硅料清洗系统包括清洗料篮组件、清洁装置、漂洗装置、加热装置、干燥装置及转运机器人。清洁装置、漂洗装置、加热装置及干燥装置均包括硅料清洗单元，并依次围绕转运机器人布设。硅料清洗单元包括壳体、自动封盖组件及旋转组件。自动封盖组件包括盖体及封盖驱动件。封盖驱动件用于驱动盖体相对于壳体翻转，以密封盖合或打开进出料口。旋转组件包括转盘及旋转驱动件。旋转驱动件用于提供一驱使转盘自转的驱动力。干燥装置还包括抽真空机构。转运机器人用于将清洗料篮组件放入壳体内并定位在定位部上，还用于将清

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114289390 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202111647490.0 F26B 23/00 (2006.01) (22)申请日 2

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