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一种高度测量方法、装置及固晶装置.pdfVIP

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  • 2023-05-05 发布于四川
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一种高度测量方法、装置及固晶装置.pdf

    本发明提供了一种高度测量方法、装置及固晶装置，该高度测量方法包括如下步骤：测量图像测量装置距离固晶平台的初始高度时的光斑宽度L；把固晶平台上升H的高度，这个高度为固晶工作时的高度，通过图像测量装置测量固晶平台上两个光斑之间的初始距离L1；光斑距离测量步骤：任意时刻，通过图像测量装置测量基板上左光斑和右光斑之间的距离L2；高度偏差计算步骤：任意时刻，基板高度相对于固晶平台的高度偏差为Δh，Δh

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114300373 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202111629768.1 (22)申请日 2021.12.28 (71)申请人 深圳市卓兴半导体科技有限公司

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