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- 2023-05-05 发布于四川
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本发明提供一种粉尘收集装置及抽真空系统，该粉尘收集装置包括粉尘收集罐体，其上端具有能够装配在冗余管道上并与冗余管道相连通的开口，其下端未封闭或未完全封闭；阻流板，为拱起结构，设置在粉尘收集罐体的内部，阻流板的边缘与粉尘收集罐体的内壁之间留有间隙；过滤器，位于阻流板的下方设置在粉尘收集罐体的内部，过滤器将粉尘收集罐体分隔为粉尘处理室和粉尘收集室，粉尘处理室和粉尘收集室分别位于过滤器的上下方；舱盖，可拆卸连接在粉尘收集罐体的下端。本发明能够防止真空泵机的回抽造成失效风险，确保机台的正常运行，具有粉尘
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114288793 A
(43)申请公布日 2022.04.08
(21)申请号 202111629450.3
(22)申请日 2021.12.28
(71)申请人 上海华力微电子有限公司
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