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一种芯片制造设备管理方法、装置、电子设备和存储介质.pdfVIP

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  • 2023-05-05 发布于四川
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一种芯片制造设备管理方法、装置、电子设备和存储介质.pdf

    本申请提供了一种芯片制造设备管理方法、装置、电子设备和存储介质，该方法包括：针对目标区域中的每个炉管设备，通过炉管设备的加热均匀度结果、测试片的加工测试结果和出厂参数，确定炉管设备的加工精度，并标记加工精度标签；当检测到第一炉管设备中设置有第一规则时，确定与第一炉管设备具有相同设备能力的第二炉管设备，并确定出与第一规则要求的加工精度标签相同的目标第二炉管设备；根据目标第二炉管设备的加工精度确定目标第二炉管设备的优先同步顺序；按照优先同步顺序，将第一规则同步到目标第二炉管设备中。本申请实施例通过上

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114298564 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202111640249.5 (22)申请日 2021.12.29 (71)申请人 上海赛美特软件科技有限公司

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