刮涂法制作GPP二极管芯片工艺技术.pdf

刮 涂 法 制 作 G P P 二极 管 芯 片 工 艺 技 术 标准化管理处编码[BBX968T-XBB8968-NNJ668-MM9N] 刮涂法制作GPP二极管芯片工艺技术 随着半导体技术的发展，对半导体表面钝化的要求越来越高，作为二极管一种钝化 材料，无疑应具备：一是良好的电气性能和可靠性。包括电阻率、介电强度、离子迁移率 等。材料的引入不应给器件带来副作用；二是良好的化学稳定性。半导体工艺是用化学试 剂开展的工艺，作为器件的钝化材料，应有一定的抗化学腐蚀能力；三是可操作性。工艺 要简单，重复性好，能与