VDMOS功率晶体管的版图设计.docx

该文档主要介绍了VDMOS的设计基础构造和工作原理,讨论了器件设计中电性能参数和构造参数之间的关系,并对VDMOS器件的制作工艺流程进行了详细解析文章最后总结全文,提出了下一步争论工作的方向

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VDMOS功率晶体管的幅员设计

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指导教师

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职称

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设计时间 2023.9.15-2023.1.4

摘要

VDMOS是微电子技术和电力电子技术融和起来的一代功率半导体器件。因具有开关速度快、输入阻抗高、负温度系数、低驱动功率、制造工艺简洁等一系列优点,在电力电子领域得到了广泛的应用。目前,国际上已形成规模化生产,而我国在VDMOS设计领域则处于起步阶段。

本文首先阐述了VDMOS器件的根本构造和工作原理,描述和分析了器件设计中各种电性能参数和构造参数之间的关系。通过理论上的经典公式来确定VDMOS的外延参数、单胞尺寸和单胞

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