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一种半导体Mach‑Zehnder光调制器包括：输入侧引出线(20‑23)；相位调制电极线(24‑27)；以及电极(32‑35)，将通过相位调制电极线(24‑27)传播的调制信号分别施加到波导(16‑19)。半导体Mach‑Zehnder光调制器还包括：导电层，形成在衬底与波导(16‑19)之间；多个第一布线层(70)，连接到导电层；以及第二布线层(71)，连接电极焊盘(55)和多个第一布线层(70)。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114365034 A
(43)申请公布日 2022.04.15
(21)申请号 201980100316.9 (51)Int.Cl.
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