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一〉 流程:
磨板→贴膜→曝光→显影一、磨板
1、外表处理 除去铜外表氧化物及其它污染物。
硫酸槽配制 H2SO4 1-3%(V/V)。
酸洗不低于 10S。
2、测试磨痕宽度 把握范围 10-15mm,磨痕超过 15mm 会消灭椭圆孔或孔口边沿无铜,一般把握 10-12mm
为宜。
3、水磨试验 每日测试水膜裂开时间≥15s,试验说明,在一样条件下磨痕宽度与水膜裂开时间成正比。
4、磨板把握 传送速度 1.2-2.5M/min,间隔 1",水压 1.0-1.5bar,枯燥温度 70-9
0℃。
二、干膜房
1、干膜房干净度 10000 级以上。
2、温度把握 20234°C,超出此温度范围
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