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本发明提供了化成设备技术领域的一种兼容多种通道的化成负压机构,包括:一个正压连通组件;一个气控负压组件,输入端与所述正压连通组件的输出端连通;一个负压分流组件,输入端与所述气控负压组件的输出端连通;一个微负压组件,输入端与所述负压分流组件的输出端连通;一个负压汇流组件,输入端与所述气控负压组件的输出端连通;一个破真空组件,输入端与所述负压汇流组件的输出端连通;一个IO端子组件,分别与所述正压连通组件、气控负压组件以及破真空组件连接。本发明的优点在于:极大的提升了化成负压机构的兼容性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114421019 A
(43)申请公布日 2022.04.29
(21)申请号 202210012864.X
(22)申请日 2022.01.06
(71)申请人 福建星云电子股份有限公司
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