一种薄膜感测片及多机协同的压力传感器.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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一种薄膜感测片及多机协同的压力传感器.pdf

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本申请涉及压力传感器技术领域，尤其涉及一种薄膜感测片及多机协同的压力传感器，薄膜感测片包括压力感测件和至少两驱动电极和两感测电极，其中压力感测件包括压力感测材料层和阵列电极层，所述阵列电极层设置有行阵列电极和列阵列电极，所述行阵列电极与所述列阵列电极相互交叉以形成多个检测格点，两驱动电极分别与不同的行阵列电极电性连接，两感测电极分别与不同的列阵列电极电性连接，通过驱动电极与感测电极以实现对压力感测件上对应检测格点电参数数据的采集。由于电参数的变化反应了压力的变化，因此外部设备通过薄膜感测片能够得

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114486001 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202210102159.9 G01L 1/26 (2006.01) (22)申请日 2022.01.2