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一种真空配管连接结构及方法.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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一种真空配管连接结构及方法.pdf

    本发明提供了一种真空配管连接结构及方法，涉及蚀刻设备制造技术领域，用于解决当前真空配管连接结构拧紧时费时费力，所述真空配管连接结构包括：第一法兰盘，第二法兰盘和管夹；所述第一法兰盘和所述第二法兰盘分别设置在需要连接的真空配管的连接端，且所述第一法兰盘和所述第二法兰盘尺寸相同；所述管夹一侧与所述第一法兰盘旋转锁定，另一侧与所述第二法兰盘旋转锁定；所述管夹中设置有密封圈，对接的真空配管分别位于所述密封圈两侧，安装到位后，密封圈实现对连接真空配管的密封对接。本发明实施例提供的技术方案能够提高配管的组装

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114517863 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202011296350.9 (22)申请日 2020.11.18 (71)申请人 中国科学院微电子研究所 地址 10

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