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真空底座及真空组件.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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真空底座及真空组件.pdf

    本发明提供一种真空底座及其真空组件，所述真空底座包括：壳体，所述壳体包括顶面和内腔；抽气结构，设置于所述顶面的第一表面上，且所述内腔相互连通；其中，所述抽气结构包括形成于所述第一表面上的凹陷部、盖帽和密封垫，所述盖帽和所述密封垫分别位于所述凹陷部中，所述盖帽具有空隙部，所述盖帽卡入所述密封垫朝向所述盖帽的开口中，所述密封垫包括贯孔，所述空隙部和所述贯孔连通，所述贯孔和所述内腔连通。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114517778 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202011310958.2 (22)申请日 2020.11.20 (71)申请人 青岛海高设计制造有

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