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一种用于SiC晶体生长的多用途石墨坩埚.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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一种用于SiC晶体生长的多用途石墨坩埚.pdf

    本发明公开了一种用于SiC晶体生长的多用途石墨坩埚，包括石墨坩埚本体、石墨籽晶盖和螺纹石墨空心管，所述的石墨籽晶盖上设有螺纹盲孔，螺纹盲孔与螺纹石墨空心管相适配，通过在顶部测温孔中间插入石墨空心管的方式避免挥发物在石墨管中心沉积，有效避免测温孔被堵塞；同时通过在石墨空心管设计成带外螺纹多段式镂空或打孔结构，通过螺纹旋转不仅可以添加多层石墨圆薄板调控轴径向温度场，而且通过设计多段连接和侧面开孔或镂空结构，不仅避免每次安装出现偏差影响温度测量的准确性和重复性，同时还避免密闭型石墨空管不利于温度场的均

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114517333 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202111412091.6 (22)申请日 2021.11.25 (71)申请人 安徽微芯长江半导体材料有限公司 地址

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