柔顺的三轴力传感器及制造其的方法.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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柔顺的三轴力传感器及制造其的方法.pdf

公开了一种可包含在软体机器人或电子皮肤中的柔顺的三轴力传感器。所述传感器包括:第一电极层,包括处于第一取向的列电极;第二电极层,包括处于与所述第一取向正交的第二取向的列电极;与力相关的活性层,被提供在所述第一电极层与所述第二电极层之间并且被配置成在受到力时改变至少一个特性,诸如量子隧道效应、导电性、电阻率或电荷;至少一个三维凸起,被布置成将外部施加的力传递通过所述活性层;以及至少一个间隔件,被布置成保持传感器中的两层或更多层之间的分离,直到外力被施加。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114521232 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202080066771.4 (74)专利代理机构 北京德琦知识产权代理有限

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