ESD静电台面点检记录表.docxVIP

静电设施点检记录表 月份: 表单编号 /版本: 检查内容 工作椅 周转箱 防静电托盘 地 面 部门/线别 编号 (位置) 表面电阻 对地电阻 表面电阻 表面电阻 表面电阻 系统电阻 备注: 本表要测项目每月测一次 ,每次抽样数量不少于 10组,静电测试不合格及时改善. 10 5 9 工作椅应满足 ESD 技术指标：表面电阻≤ 1×10 Ω ，对地电阻在 7.5× 10 Ω～1×10 Ω 范围内; 静电箱静电系数要求：表面电阻在 7.5×10 5Ω ～ 1× 10 10 平方范围内 4. 防静电托盘：表面电阻1×10 4. 防静电托盘：表面电阻 1×10 5Ω ～ 1× 5. 防静电地板表面电阻在 1×10 5Ω ～ 1× 10 10 Ω 范围内，系统电阻（对地电阻）在 1× 105 Ω ～ 1× 109 Ω 范围内。 测试人： 审核： 核准：