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一种三维微观可视化玻璃刻蚀模型及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-05-11 发布于四川
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一种三维微观可视化玻璃刻蚀模型及其制备方法.pdf

    本发明提供一种三维微观可视化玻璃刻蚀模型及其制备方法，该方法包括：孔隙网络结构设计、玻璃片准备、涂抹保护层、光刻掩膜版成像：采用干法刻蚀，将孔隙网络结构通过光刻掩膜版成像刻蚀在所述保护胶上，再用显影液使保护胶上的孔隙网络结构图形得以显现；蚀刻所述孔隙网络结构的孔隙图形，然后进一步蚀刻载片玻璃，使得所述孔隙网络结构的孔隙加深至所需深度，形成孔隙网络结构刻蚀模型；将载片玻璃有孔隙网络结构的一面与盖片玻璃键合在一起，形成可视化玻璃刻蚀模型。本发明制作方法操作简单，成本低，成功率高。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114573241 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210226097.2 (22)申请日 2022.03.08 (71)申请人 西南石油大学 地址 610500

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