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多级罗茨真空泵.pdfVIP

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  • 2023-05-11 发布于四川
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多级罗茨真空泵.pdf

    本发明的实施例提供了一种多级罗茨真空泵，涉及真空泵技术领域。多级罗茨真空泵包括腔体和两个转子，腔体包括依次连通的进气腔、一级压缩腔和二级压缩腔，一级压缩腔的数量为两个，两个一级压缩腔相对于二者的中平面呈对称形式；两个转子安装在腔体内，两个转子相互啮合、且同步反向转动，转子包括进气转子、一级罗茨转子和二级罗茨转子，进气转子、一级罗茨转子和二级罗茨转子分别位于进气腔、一级压缩腔和二级压缩腔。将两个一级压缩腔相对于二者的中平面呈对称形式，使转子的两个一级罗茨转子相对于二者的中平面也呈对称形式，能够减小

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114576165 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210164852.9 F04C 23/02 (2006.01)

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