一种电容式压力传感器及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-12 发布于北京
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一种电容式压力传感器及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种电容式压力传感器及其制备方法，属于传感器技术领域，包括第一电极和第二电极；第一电极为掺杂后的硅片；第二电极为在掺杂后的硅片上悬空后形成的膜层；第一电极和第二电极之间设置绝缘区。本发明的一种电容式压力传感器的制备方法，在硅迁移后的悬空的膜层上进行热氧化绝缘的处理，利用第一电极掺杂后的硅片、第二电极膜层，通过利用于氧化硅的绝缘性在单片硅片上形成上下两个电极以及一个绝缘的腔体，构成特殊结构的两层硅作为压力传感器，具备高绝缘性的同时简化了传统的制备工艺。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114608728 A (43)申请公布日 2022.06.10 (21)申请号 202210229332.1 (22)申请日 2022.03.10 (71)申请人苏州敏芯微电子技术股份有限公司地址