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本发明涉及键合技术领域，尤其是一种键合机台装置，包括：支撑板，移动台，移动台滑动连接在支撑板的上侧中心位置，放置台固定连接在移动台的上侧中心位置，电机内嵌设置在移动台的上侧中心位置，螺纹杆固定连接在电机的轴端，升降板通过螺纹传动套接在螺纹杆的外侧，电动推杆一的数量为两个，两个电动推杆一分别设置于升降板的上侧，连接杆固定连接在电动推杆一的轴端，定位板固定连接在连接杆的顶端，晶圆一设置于放置台的上侧，晶圆二设置于晶圆一的上侧，防护壳固定连接在支撑板的上侧，液压缸设置于防护壳的上侧中心位置，自发热键合
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116092999 A
(43)申请公布日 2023.05.09
(21)申请号 202211238149.4
(22)申请日 2022.10.11
(71)申请人 苏州芯睿科技有限公司
地址 21
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