多晶硅生产DCS控制系统.docxVIP

多晶硅的生产工艺大致要经过石英砂锻炼提纯生成工业硅(Si),氯化氢(HCL)合成、三氯氢硅(SiHCL3)合成并粗馏、三氯氢硅多级精馏得到高纯度三氯氢硅，以及三氯氢硅在氢气(H2)气氛中高温还原沉积在硅棒上生长出多晶硅等主要环节。其中某些厂房的一系列设备，如氯化氢合成炉、三氯氢硅加压合成炉、三氯氢硅粗馏及精馏塔提纯系统、还原炉等，是项目中自动化控制的重点，此外还包括尾气回收等处的数据采集和控制任务。整个多晶硅生产制备过程连续性强，需要控制的过程变量多，且牵涉到各种有毒原料的配比和反应，相应控制系统的选型需要能够满足多晶硅生产工艺的需求。 黄河公司新能源分公司多晶硅采用基于西门子法多晶硅生产工艺展开的，各过程之间的关系如图所示。 ,高垸Si-110C°C ,高垸Si-110C°C 目前根据生产工艺，霍尼韦尔分为四个控制区：合成控制区、还原区、精馏区和能源动力区，采用分区设立控制室，在能源动力区设置中心控制室。目前中心控制室仅有监视功能，并承担全厂生产调度功能，采用电话调度方式协调各分区对整个成产过程进行控制。 整个系统由仪表、执行机构、模拟和数字信号模块，控制器、通讯处理器、工程师站和操作员站等构成。整个DCS系统主要分上位机和下位机两块。上位机由操作员站、冗余OS服务器和工程师站共同构成；下位机主要是自动化站。 下位机采用冗余CPU的DCS系统，其区别与PLC系统，为保证可靠性采用