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镀膜系统.pdfVIP

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  • 2023-05-13 发布于四川
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镀膜系统.pdf

    本发明涉及太阳能电池制造的技术领域，更具体地说，本发明涉及一种制造异质结太阳能电池的设备。所述制造异质结太阳能电池的设备包括：多个反应装置，多个所述反应装置用于对硅片镀膜；夹持装置，设置在每相邻两个所述反应装置之间，用于将所述硅片从一个所述反应装置的所述托盘中取出，将所述硅片翻面后放置另一个所述反应装置的所述托盘内。如此设置，每个反应装置只负责镀一种薄膜层，且每个反应装置均设置有对应的托盘，通过夹持装置对硅片进行转移和翻面，避免了硅片的本征非晶硅层上掺杂有n型材料或者p型材料，造成交叉污染的情况

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114645264 A (43)申请公布日 2022.06.21 (21)申请号 202210249601.0 (22)申请日 2022.03.14 (71)申请人 上海德瀛睿创半导体科技有限公司 地址

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