原创力文档- 0
- 0
- 约1.33万字
- 约 13页
- 2023-05-13 发布于四川
- 举报
本发明提出了一种亚10nm间隙电极对的制备方法，根据三角形电极对尖端角度不同将电极对尖端设计为交叠/零间距/不交叠等结构；通过电子束光刻得到电极对图案，利用电子束蒸发系统沉积金属；将沉积金属后的电极对放置在SEM中进行热处理，通过电子束的辐照热效应调节电极对顶角间的间距，从而得到亚10nm间隙电极对。本发明中的制备方法简单易操作，而且可以在观察电极对形貌的同时可控地调节电极对间隙，得到想要的电极对间距，完全克服了当前亚10nm间隙电极对尖端相互粘连和间隙尺寸难于精确控制的制备工艺难题。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114649204 A
(43)申请公布日 2022.06.21
(21)申请号 202210254670.0
(22)申请日 2022.03.15
(71)申请人 南京大学
地址 210093 江苏
您可能关注的文档
- 一种重症医学临床检测及监护装置.pdf
- 山区狭小地形条件下运梁通道及造桥设备拼装施工方法.pdf
- 一种虚拟机资源调度方法.pdf
- 一种智能均压通风系统及方法.pdf
- 一种等离子体诱导高效催化碳纳米管阵列的方法.pdf
- 一种大吨位装载机自适应智能装载系统.pdf
- CPP抗菌书皮的配方及其制备工艺.pdf
- 一种畜牧业用可回收饲料的喂料装置.pdf
- 一种融合标签间强相关性的多标签图像分类方法.pdf
- 一种基于氮化硼纳米片的准固态电解质及其制备方法和应用.pdf
- 统编版2025年春季新版七年级下册历史 第21课 明清时期的科技与文化 教案.docx
- 雅安雨城法院书记员招聘考试真题库2025.docx
- 2026届安徽合肥市高考一模高考语文试卷试题（含答案详解）.pdf
- 【专题研究】国内外城市更新研究的最新进展.pdf
- 【专题研究】老旧城区改造居民满意度影响因素研究——以遂宁市老旧城区改造为例.pdf
- 【专题研究】关于旧城空间改造理论与创意设计案例的几点思考.pdf
- 西藏拉萨市高三下学期期末物理备考重点详解.docx
- 泾县法院书记员招聘笔试真题2025.pdf
- 2026年春【苏教版】-六年级数学下册-面积的变化.pptx
- 2026年春【苏教版】-六年级数学下册-7.pptx
文档评论（0）