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一种集成压阻反馈的电热式微镜.pdfVIP

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  • 2023-05-13 发布于四川
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一种集成压阻反馈的电热式微镜.pdf

    本发明公开的一种集成压阻反馈的电热式微镜，属于微纳光学系统技术领域。本发明所述驱动器包括常规驱动器和岛状结构驱动器。通过在微镜上集成具有角度传感作用的压阻传感器，以实时检测微镜的偏转姿态，并将该姿态信息反馈到控制中枢，通过压阻反馈提高微镜控制精度。此外，通过优化驱动器应力分布，优化压阻输出，实现较大压阻电压输出的同时，通过对压阻热绝缘隔离有效降低压阻区域的温度，进而抑制压阻的热噪声，进一步提高压阻对电热式微镜反馈控制精度。本发明的微镜驱动器采用并联对称式的驱动器，能够产生较大的驱动能力，增大微镜

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 114647077 B (45)授权公告日 2023.03.31 (21)申请号 202210269727.4 审查员 吴腊红 (22)申请日 2022.03.18

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