滚型振动辅助抛光装置设计.pdfVIP

第一章 绪论3 1.1 研究的背景及意义3 1.1.1 研究的背景 3 表 1.1 抛光应用领域实例 4 图 1.1 工程机械抛光装置 5 1.1.2 研究的意义 6 1.2 国内外研究现状7 图 1.5 T.HÄNSEL 等人自主研发的离子束抛光系统8 1.3 论文主要工作 8 第二章 滚型振动辅助抛光原理及装置设计 10 2.1 振动轨迹分析 10 图 2.1 压电叠堆 A ，B 正交放置示意图 10 图 2.2 生成的椭圆轨迹 11 2.2 滚型振动辅助抛光装置组成 11 图 2.3 滚型振动辅助抛光装置示意图12 2.3 滚型振动辅助抛光原理分析 12 图 2.4 滚形振动辅助抛光装置的简易示意图13 2.3.1 辅助抛光机构振动轨迹 13 2.3.2 幅度对辅助抛光机构振动轨迹的影响 13 图 2.5 不同幅度下辅助抛光机构振动轨迹14 2.3.3 相位差对辅助抛光机构振动轨迹的影响 14 图 2.6 不同相位差下的辅助抛光机构振动轨迹15 2.3.4 滚形振动辅助抛光装置的抛光路径 15 图 2.7 A ）滚形振动辅助抛光原理 B ）滚形振动辅助抛光中的空间螺旋曲线15 图 2.8 A)滚形振动辅助抛光中的空间螺旋曲线 B) XZ 平面上的蘑粒 P 路径 C )XY 平面中的蘑粒 P 运动 路径16 2.4 相关软件介绍 17 2.5 本章小结 17 第三章 辅助抛光机构的设计18 3.1 辅助抛光机构组成结构 18 3.1.1 辅助抛光机构设计 18 图3.1 杠杆放大器示意图 18 图3.2 并联结构 19 图3.3 复合并联四杆机构 19 图 3.4 辅助抛光机构20 3.1.2 基于矩阵法的动力学分析 20 图3.5 辅助抛光机构图 21 图3.6 右圆柔性铰链简化图22 图3.7 柔度模型 25 3.1.3 机构参数优化 26 3.1.4 辅助抛光机构的静力学分析 26 图 3.8 划分网格图27 图3.10 100N 时 X 方向辅助抛光机构 MISES 云图 28 图3.9 100N 时 X 方向辅助抛光机构应变云图28 图3.11 100N 时 Y 方向辅助抛光机构应变云图 28 图3.12 100N 时 Y 方向辅助抛光机构 MISES 云图28 图3.14 200N 时 X 方向辅助抛光机构 MISES 云图 28 图3.13 200N 时 X 方向辅助抛光机构应变云图28 3.1.5 辅助抛光机构的刚度和放大比分析 29 图3.16 200N 时 Y 方向辅助抛光机构 MISES 云图29 图3.15 200N 时 Y 方向辅助抛光机构应变云图 29 图3.17 A ）X 方向输入力与输入位移关系图 B ）X 方向输入力与杠杆位移关系图 30 图3.18 A ）Y 方向输入力与输入位移关系图 B ）Y 方向输入力与杠杆位移关系图 31 图3.19 X 方向输入位移与输出位移关系图31 图3.20 Y 方向输入位移与输出位移关系图 32 3.1.6 辅助抛光机构的模态分析 32 图3.21 辅助抛光机构的模态分析 32 3.2 辅助抛光机构整体布局 33 A 、B-压电叠堆，C-摆台，D-支撑块，E-预紧螺钉，F-紧固螺钉，G-工件，H-并联式柔性铰链机构 ...33 图 3.22 辅助