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蒸镀设备、钙钛矿电池蒸镀方法以及钙钛矿电池.pdfVIP

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  • 2023-05-13 发布于四川
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蒸镀设备、钙钛矿电池蒸镀方法以及钙钛矿电池.pdf

    本发明提出了一种蒸镀设备、钙钛矿电池蒸镀方法以及钙钛矿电池，该蒸镀设备包括：第一腔体，所述第一腔体内设置有基片支架、抽真空系统以及取片机构；第二腔体，所述第二腔体内设置有蒸镀系统，所述蒸镀系统包括第一坩埚和第二坩埚，所述第一坩埚和所述第二坩埚的加热温度不同，以在所述基片上蒸镀不同材料形成电池片；隔离门，所述隔离门打开时所述第一腔体与所述第二腔体连通，所述取片机构用于传送基片和电池片。由此，上下料均在第一腔室内完成，缩短设备长度，能够实现不间断镀膜，节省成本；第二腔体可同时完成多种材料的蒸镀，使电

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114645250 A (43)申请公布日 2022.06.21 (21)申请号 202210307767.3 (22)申请日 2022.03.25 (71)申请人 无锡极电光能科技有限公司 地址 2

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