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本发明提供一种酸排风管道中残余液体的去除装置、方法及酸排风系统，所述去除装置包括：固设在所述酸排风管道上的加热部，所述加热部用于加热所述酸排风管道以使所述酸排风管道中的残余液体汽化；所述加热部与加热开关电连接。本发明通过加热部对酸排风管道进行加热，使得酸排风管道中的残余液体汽化，从而使得汽化后的残余液体顺着酸排风管道排出，进而能够排出全部残余液体，使得酸排风管道中无残余液体，能够去除酸排风管道中残余液体。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113324399 A
(43)申请公布日 2021.08.31
(21)申请号 202110203799.4
(22)申请日 2021.02.23
(71)申请人 上海先进半导体制造有限公司
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