一种纳米压印用拼版模版的制备方法.pdfVIP

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  • 2023-05-14 发布于四川
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一种纳米压印用拼版模版的制备方法.pdf

本发明实施例公开了一种纳米压印用拼版模版的制备方法,包括:提供模版框架和至少两个单元模版,所述模版框架中包含至少两个子框架;所述单元模版上设有预置图案;将所述单元模版填充进所述子框架中,得到整版模版;将所述整版模版压印在待压印模版上,得到拼版模版。采用上述技术方案,能够实现制备大面积的纳米压印用拼版模版,能够提高制备效率,节约生产成本。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116107159 A (43)申请公布日 2023.05.12 (21)申请号 202310114480.3 (22)申请日 2023.02.13 (71)申请人 广纳四维 (广东)光电科技有限公司

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