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                 C-SiO2界面:    lnPCO可能很大,PCO可能很高。 	 但一定的PCO压力对应一定的O2浓度,而界面氧气浓度需靠氧在SiO2中的扩散提供。O2在SiO2中的扩散是很慢的,因而CO的压力受O2扩散控制。 热化学相图 界面的化学反应 第六十三页,共一百一十页,2022年,8月28日 Si-C-O系统平衡时可能产生SiO(g) :                                                                                                                                                                                                                                                                      SiC(S)+1/2O2 (g)?SiO(g)+C(g)                                  长斜线表示SiO的压力 PSiO 根据△G= ? RTlnPC?RTlnPSiO(g)+1/2RTlnPO2                      令lnPSiO(g)=constant                           lnPC ? 1/2lnPO2 (斜率+1/2) 热化学相图 界面的化学反应 第六十四页,共一百一十页,2022年,8月28日 长斜线表示CO2的压力 PCO2 根据△G=-RTlnPCO2+RTlnPO2+RTlnPC(g)                         lnPCO2=constant                          lnPC ? - lnPO2   (斜率-1) Si-C-O三元系统还可能反应生CO2       C (g) +O2 (g) ?CO2(g)                        热化学相图 界面的化学反应 第六十五页,共一百一十页,2022年,8月28日 SiC-SiO2界面在2000K的CO压力可能大于0.7个大气压,SiC表面的氧化层SiO2(保护膜)在低于这一压力时气泡形核长大,因而是不稳定的,高于这一压力气相反应将被抑制。    SiC与SiO2的稳定共存氧浓度区间为:                      ln PO2 = -13.8 ? -15.3 SiC  SiO2  O2 SiC  SiO2  O2 CO 热化学相图 界面的化学反应 第六十六页,共一百一十页,2022年,8月28日 1200?C 1400?C 1500?C SiO2-SiC界面气相反应(CO)与温度的关系 热化学相图 界面的化学反应 第六十七页,共一百一十页,2022年,8月28日 如果氧化层中含有杂质,如H2O,O2在SiO2中的扩散速度将大大增加,界面上的氧气浓度将大于e-13.8,此时SiC-SiO2将不能稳定共存。燃气中一般含有大量水及杂质。因此,SiC在燃气中的使用温度比在空气中低。 SiC  SiO2  O2 SiC  SiO2  H2O,O2 CO 热化学相图 界面的化学反应 第六十八页,共一百一十页,2022年,8月28日  从热力学上讲C-SiO2界面在1273K时界面气相CO压力可能很高,但只有O2扩散使界面O2浓度达到较高水平时才能反应生成CO,但温度低,扩散较慢。因此C-SiO2在1000 ?C左右仍然共存,这就是动力学因素造成的。 C  SiO2  O2 C  SiO2  O2 SiC 低温成型 热化学相图 界面的化学反应 第六十九页,共一百一十页,2022年,8月28日 Relations of the maximum and minimum oxygen pressure with temperature at the SiO2-SiC interface 1412?C lgPo2 (MPa) -40 -35 -30 -25 -20 -15 -10 1200 1400 1600 1800 2000 Temperature (K) lgPo2|min lgPo2|max 热化学相图 界面的化学反应 第七十页,共一百一十页,2022年,8月28日 Relations of the maximum and the minimum CO pressure with temperature at the SiO2-SiC interface  1412?C 热化学相图 界面的化学反应 第七十一页,共一百一十页,2022年,8月28日 为什么Nical
                
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