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- 2023-05-15 发布于四川
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本公开涉及一种液供给装置、液供给方法和计算机存储介质。液供给装置具备：贮存部，其用于贮存处理液；喷出部，其用于向基板喷出所述处理液；配管，其被设置于从所述贮存部到所述喷出部的送液线路；送液部，其配置于所述送液线路的所述贮存部与所述喷出部之间的位置，用于进行所述处理液的送出；探测部，其分别设置于所述送液线路的所述贮存部与所述送液部之间的位置、以及所述送液部与所述喷出部之间的位置，用于探测是否存在所述处理液；以及控制部，其中，所述控制部构成为：在对所述处理液未通液的所述配管进行处理液的通液时，基于所
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114713397 A
(43)申请公布日 2022.07.08
(21)申请号 202111633708.7
(22)申请日 2021.12.29
(30)优先权数据
2021-000418 202
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