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本发明公开了一种多刀砂轮划片机的无线自动分度调节环及方法,属于半导体精密加工技术领域,包括多刀主轴、主动调节环、补偿调节环、砂轮刀片、主轴端面。所述主动调节环和补偿调节环按照输入信号自动调节厚度,N‑1个主动调节环依次放置于N个砂轮刀片的N‑1个间隔中,2个补偿调节环放置于两端,通过N‑1个主动调节环的厚度变化,使N个砂轮刀片间的分度达到预定值,通过2个补偿调节环的厚度变化,使砂轮刀片和调节环整体厚度之和保持不变。本发明设计了一种无线自动分度调节环,通过使用相应的分度调节方法,解决了传统砂轮划片
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114700858 A
(43)申请公布日 2022.07.05
(21)申请号 202210277523.5
(22)申请日 2022.03.21
(71)申请人 湖南大学
地址 410082 湖
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