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研磨时间的修正方法、系统及隔离结构的制作方法.pdfVIP

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  • 2023-05-16 发布于四川
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研磨时间的修正方法、系统及隔离结构的制作方法.pdf

    本发明提供一种研磨时间的修正方法、系统及隔离结构的制作方法。该研磨时间的修正方法及系统中，首先获取前道研磨平台研磨第一晶圆的第一研磨时间设定值、前道研磨平台研磨第二晶圆的第二研磨时间设定值以及第n个研磨平台研磨第二晶圆的研磨时间，然后计算第二研磨时间设定值与第一研磨时间设定值之差获得第一时间差，计算第n个研磨平台研磨第二晶圆的研磨时间与第二研磨时间设定值之差获得第二时间差，且根据前道研磨平台的预定去除厚度和当下研磨速率、以及第一和第二时间差，计算出前道研磨平台研磨第三晶圆的研磨时间设定值。如此可

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115609469 A (43)申请公布日 2023.01.17 (21)申请号 202211512915.1 H01L 21/67 (2006.01)

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