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- 2023-05-17 发布于四川
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本发明涉及一种薄膜在线测厚仪计量校准方法，包括检测薄膜在线测厚仪的计量校准方法及量值溯源；本发明解决了薄膜在线测厚仪的计量校准及溯源，通过对薄膜在线测厚仪的外观及工作状态、厚度测量示值误差、厚度测量重复性、扫描速度示值误差、扫描速度重复性等计量检测方法，判断出薄膜在线测厚仪是否功能完好、测量是否准确。量值溯源采用直接测量法和间接称重法，保障了设备的量值传递准确可靠。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114812470 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202210342756.9
(22)申请日 2022.03.31
(71)申请人 宿迁市计量测试所
地址 22380
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