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一种含Si膜形成组合物,包含催化剂和/或聚硅烷以及不含N‑H、不含C且富含Si的全氢聚硅氮烷,该全氢聚硅氮烷具有在从大约332道尔顿至大约100,000道尔顿范围内的分子量并且包含具有式[‑N(SiH3)x(SiH2‑)y]的不含N‑H的重复单元,其中x=0、1或2并且y=0、1或2,并且x+y=2;并且x=0、1或2,并且y=1、2或3,并且x+y=3。还披露了合成方法和使用其的应用。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114773604 A
(43)申请公布日 2022.07.22
(21)申请号 202210565731.5 纪尧姆 ·哈森
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