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一种芯片生产用机械手.pdfVIP

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  • 2023-05-17 发布于四川
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一种芯片生产用机械手.pdf

    本发明涉及芯片生产技术领域，公开了一种芯片生产用机械手，包括导向组件和设置在所述导向组件上的驱动机构，所述导向组件包括底板，所述底板上设有导轨，所述导轨上设有多组活动吸嘴组件，所述驱动机构驱动所述活动吸嘴组件沿所述导轨滑动，所述底板上还设有至少一组固定吸嘴组件，所述活动吸嘴组件及所述固定吸嘴组件均包括可升降调节的吸嘴。本发明通过在导轨上设置多组活动吸嘴组件，并通过驱动机构驱动活动吸嘴组件沿导轨滑动，同时设置固定吸嘴组件，使得多组活动吸嘴组件在移动过程中相互之间的间距以及与固定吸嘴组件之间的间距均

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114800546 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210231949.7 (22)申请日 2022.03.09 (71)申请人 深圳格芯集成电路装备有限公司 地址

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