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半导体基板台.pdfVIP

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  • 2023-05-17 发布于四川
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半导体基板台.pdf

    本公开实施例提供一种半导体基板台。半导体基板台用于承载基板，半导体基板台包括基层、磁屏蔽层、承载层以及接收器。磁屏蔽层设置于基层上。承载层设置于磁屏蔽层上。接收器设置于承载层上。接收器是配置以接收来自与接收器电性隔离的信号源的微波信号，并且微波信号是用于控制半导体基板台的移动。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114815515 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210210215.0 (22)申请日 2022.03.04 (30)优先权数据 63/156,969 2021

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