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三维存储器及其制备方法、存储系统、电子设备.pdfVIP

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  • 2023-05-17 发布于四川
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三维存储器及其制备方法、存储系统、电子设备.pdf

    本申请提供了一种三维存储器及其制备方法、存储系统、电子设备。三维存储器的制备方法包括：形成叠层结构，并形成穿过所述叠层结构的沟道结构，其中所述沟道结构沿第一方向和第二方向分别呈多列和多行布置；形成分别与所述沟道结构的多列对应的、沿所述第一方向延伸的多个位线，其中多个所述位线分别与对应列的所述沟道结构的第一端电连接；以及形成分别与所述沟道结构的多行对应的、沿所述第二方向延伸的多个源极线，其中多个所述源极线分别与对应行的所述沟道结构的、与所述第一端相对的第二端电连接。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823699 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210353628.4 (22)申请日 2022.04.06 (71)申请人 长江存储科技有限责任公司 地址 4

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