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本发明能够消除等离子体密度分布的偏倚，改善蚀刻特性。提供一种用于等离子体处理装置的高频电力的滤波电路，该等离子体处理装置具有电极和与所述电极的背面的中心部连接的供电体，通过施加高频电力来生成等离子体，其中，所述滤波电路，设置在设置于所述等离子体处理装置的导电性部件与向所述导电性部件供给直流电力或小于400kHz的频率的电力的电源之间的配线上，且具有串联谐振电路，该串联谐振电路具有与所述配线串联连接的线圈和连接在所述配线与接地之间的电容器，所述线圈的中心轴与所述供电体的中心轴一致。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114843167 A
(43)申请公布日 2022.08.02
(21)申请号 202210078431.4
(22)申请日 2022.01.24
(30)优先权数据
2021-014287 202
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