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- 2023-05-18 发布于四川
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本发明涉及一种ITO靶材与Mo背板的焊接方法，所述焊接方法包括如下步骤：(1)ITO靶材与Mo背板分别升温至目标温度；(2)维持ITO靶材与Mo背板的温度不变，对ITO靶材的焊接面以及Mo背板的焊接面进行浸润；(3)于Mo背板的焊接面形成焊料槽，并在焊料槽中添加熔融的焊料，将ITO靶材与焊料槽贴合设置；(4)ITO靶材的表面设置缓冲层，施加压力过程中自然降温，完成ITO靶材与Mo背板的焊接。本发明提供的焊接方法，ITO靶材与Mo背板在焊接过程中不易变形，且焊接结合率高，提高了ITO靶材与背板的焊
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114833417 A
(43)申请公布日 2022.08.02
(21)申请号 202210664566.9
(22)申请日 2022.06.13
(71)申请人 宁波江丰电子材料股份有限公司
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