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本发明公开了一种减反射氧化物表面的制备方法,包括以下步骤:S1.对金属基材表面进行刻蚀处理,使其表面形成微纳结构;S2.将经步骤S1处理的具有微纳结构表面的金属基材进行热氧化处理,使所述金属基材表面形成一层氧化物纳米线,从而得到所述减反射氧化物表面;其中,所述热氧化处理温度为300‑600℃,热氧化处理时间为100‑300min。本发明还提供了由所述方法制备的减反射氧化物表面。本发明的减反射氧化物表面的制备方法,在简化减反射膜层材料制备工艺的前提下,大幅度降低其反射率,且在其表面形成超疏水结构。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114855116 A
(43)申请公布日 2022.08.05
(21)申请号 202210452686.2 C23F 1/18 (2006.01)
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