一种选通管及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-18 发布于北京
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一种选通管及其制备方法.pdf

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本发明属于微纳米电子器件技术领域，具体公开了一种选通管及其制备方法，该选通管包括衬底以及依次堆叠于所述衬底上的第一电极层、中间介质层和第二电极层；所述中间介质层由富氧氧化物层和化学计量氧化物层双层堆叠而成，所述富氧氧化物中的氧价态高于正常化学价态，在热力学作用下所述富氧氧化物层中的氧向所述化学计量氧化物层迁移扩散并在界面迁移势垒的作用下钉扎在二者的界面处，形成富氧界面。本发明选通管在外界电压消失后金属导电丝倾向于在富氧界面处自发性断裂，从而有效地控制导电丝在器件中的生长形貌和通断位置，提高选通管

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114864814 A (43)申请公布日 2022.08.05 (21)申请号 202210356783.1 (22)申请日 2022.04.06 (71)申请人华中科技大学地址 430074