原创力文档- 3
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- 2023-05-18 发布于四川
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本发明提供了一种具有快速矫正功能的晶圆片转料装置及装片机，其包括X轴单轴驱动器、Y轴单轴驱动器、旋转电机、转盘和晶圆台，X轴单轴驱动器固定连接于工作台上，Y轴单轴驱动器设于X轴单轴驱动器上，且Y轴单轴驱动器和X轴单轴驱动器相互垂直，旋转电机设于Y轴单轴驱动器上，转盘固定连接于旋转电机上。本发明通过多方位调节和多工位同步工作设计，不仅使晶圆的方位调节在单工位完成，而且使得晶圆的矫正和上下料作业可以同步完成，大大地缩短了工作周期，提高了工作效率；通过分离式的转台设计，并经过弹性阻尼的缓冲作用，使得晶
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112289712 A
(43)申请公布日 2021.01.29
(21)申请号 202011159199.4
(22)申请日 2020.10.26
(71)申请人 苏州艾科瑞思智能装备股份有限公
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