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本发明公开了一种通信故障处理方法及其接头组件，属于半导体制造领域。该组件包括电源针脚、电阻针脚、电压输入针脚和接地针脚；电源针脚输入有目标电压；电阻针脚连接有目标电阻；电压输入针脚输入零伏电压。通过调节扭矩传感器的电压和电阻分别为目标电压和目标电阻、电源针脚处输入目标电压、电阻针脚连接目标电阻和电压输入针脚输入零伏电压，根据扭矩传感器的返回值确定光罩传送单元的通信故障情况，实现对扭矩传感器的通信情况监测，通过扭矩传感器的返回值反馈内部线路情况，从而解决相关技术中抓手装置长期转动带来的扭矩传感器内
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114839426 A
(43)申请公布日 2022.08.02
(21)申请号 202210189272.5
(22)申请日 2022.02.28
(71)申请人 华虹半导体（无锡）有限公司
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