一种片上集成回音壁模式波导的太赫兹探测器.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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一种片上集成回音壁模式波导的太赫兹探测器.pdf

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本发明提供一种片上集成回音壁模式波导的太赫兹探测器，其回音壁模式波导包括回音壁模式微环、直波导、第一、二锥型耦合波导和衬底，太赫兹探测器位于回音壁模式微环上表面，所述回音壁模式微环采用圆环型或者跑道型，用于对特定频率的信号产生谐振；所述直波导位于回音壁模式微环一侧，用于传输太赫兹信号；所述第一、二锥型耦合波导位于直波导两端，分别作为信号的输入和输出端口；所述衬底用于固定回音壁模式微环、直波导。本发明利用回音壁模式波导的谐振与低损耗特性，实现太赫兹信号的片上高效传输与谐振滤波的功能，同时提升太赫兹

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114894301 A (43)申请公布日 2022.08.12 (21)申请号 202210375169.X (22)申请日 2022.04.11 (71)申请人南京大学地址 210093 江苏