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- 2023-05-23 发布于四川
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本发明公开了一种基于时频分析的太赫兹厚度检测方法,通过太赫兹系统采集太赫兹时域脉冲信号,根据设置的峰值幅度阈值Ti,依次查找时域信号中的反射峰及反射峰对应的位置,组成反射峰位置数组Pt,将时域信号的时频分析,获得时域信号的时频矩阵,基于反射峰位置查询信号时频矩阵对应位置附近瞬时频率特征向量,计算与第一反射峰对应的瞬时频率特征向量V1与其他反射峰对应的瞬时频率特征向量之间的相似度系数,过滤获取有效的峰值检索数组Ptf,比对Pt和Ptf,获取二者交集数据Pi,根据Pi,依次计算各层厚度d,输出厚度数
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112162295 A
(43)申请公布日 2021.01.01
(21)申请号 202011008574.5 G06F 17/18 (2006.01)
(22)申请日 2
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