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本申请提供一种晶圆检测装置及线上成套设备，涉及半导体制造技术领域，包括光源模组以及沿光源模组的光路传输方向设置的旋转模组、光信号分拣模组和检测模组，旋转模组以光源模组的主光轴为中心旋转；光源模组出射的基波光束经旋转模组一个旋转周期形成环形入射光入射位于加工装置内的待测晶圆，由待测晶圆反射的基波光束经旋转模组后入射光信号分拣模组，光信号分拣模组分拣出的非线性光信号输入检测模组，检测模组根据非线性光信号检测待测晶圆的缺陷。旋转模组改变了基波光束的入射方向和入射平面，一个旋转周期内，基波光束可形成环形
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112198169 A
(43)申请公布日 2021.01.08
(21)申请号 202011413410.0
(22)申请日 2020.12.07
(71)申请人 紫创（南京）科技有限公司
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